十万级无尘车间有哪些装修要求?我们先来了解一下无尘车间的一个定义:无尘车间以“每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量”为衡量其洁净度的标准。而十万级无尘车间就是:“十万级无尘车间”表示“每立方米空气中直径大于等于0.5um的灰尘粒的数量少于10万个”。
洁净厂房竣工验收的主要测试内容如下:
1 气流目测;
2 风速和风量测试;
3 空气过滤器的检漏;
4 洁净室(区)的密闭性测试;
5 房间之间的静压差测试;
6 空气洁净度等级;
7 自净时间;
8 温度、相对湿度;
9 照度值;
10 噪声级;
11 其他建设方需要进行的检测项目。
无尘车间要控制相对湿度,以下几个影响因素也是关键:
金属腐蚀:很多化学反应的速度,洁净车间公司,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度可以使反应加速。幸运的是,一些金属,衢州洁净车间,例如铝,可以与水形成一层保护型的氧化物,并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是,例如氧化铜,是不具有保护能力的,因此,在高湿度的环境中,铜制表面更容易受到腐蚀。
水汽冷凝:在相对湿度较高的环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键,可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应——凯尔文浓缩——当相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的主要力量。所以必须要对无尘车间相对湿度控制。
光刻的退化:这在半导体无尘车间、洁净室中迫切需要适当控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性,它对相对湿度的控制范围的要求是严格的水准。实际应用上,相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然,改变粘性,洁净车间价格,就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。
还有就是吸水性,在高的相对湿度环境下,由于水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负1面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易,甚至不需要聚合改性剂,如六甲1基二硅氮烷(HMDS)。
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