4、自控装置保证全程调节
目前,有的生产厂家采用手动方式进行控制风量和风压的调节,但由于控制风量和风压的调节阀均在技术隔层,而且吊顶也都是彩钢板的软吊顶,基本上都是在安装调试时调好,此后,大都没再调节过,实际上也无法调节。为确保洁净厂房的正常生产和工作,应设置一套较完整的自控装置,实现以下功能:洁净室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节;高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测;气体纯度、纯水水质的监测等。
净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加,无尘净化公司,阻力增大,为保持风量则需调节系统中的风阀。在统调试时系统启动时,无尘净化房,为使风机空载启动,则需将风机出口处风阀关闭,风机启动后,因风阀上承受很压力,开启十分困难。采用空气过滤器前后压差的变化控制风机的变频调速装置后,送风量的调节会变十分容易,送风压力稳定。
这些监控装置可设计成单个系统的测量,控制系统,也可设计成集散式计算机控制和管理系统。净化空调系统在风机停转无风或超温时,电加热器会继续送电加热,造成设备损坏甚至发生火灾,为避免这种情况的出现,应设置无风以及超温断电的保护。
洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,衢州无尘净化,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,无尘净化gmp,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产合适湿度范围为35—45%。
单向流洁净室主要用于电子工业和生物制药生产的局部区域。在生物医用产品生产中主要采用局部设置层流罩或净化工作台或生物安全柜等来满足产品生产工艺的要求。在电子工业中的微电子产品或一些电子器件产品生产中需要一个房间或一条生产线,甚至数条生产线的主要工序均需设置在严于5级的洁净室内,才能达到产品生产的要求。为此,单向流洁净室的空间布置己从“单层”布置发展到“多层”布置。“单层”布置的单向流洁净厂房,在单向流洁净生产区的上部、下部设有上下技术夹层,在上技术夹层内布置送风管道、部分公用动力管线,通过设在顶棚上的高效过滤器向洁净生产区均匀送风;通过设在下技术夹层的回风地板回风至空气处理装置。“多层”布置的单向流洁净厂房的主要特点是将洁净生产区与供应产品生产工艺所需的各类公用动力管线、产品生产工艺管线及工艺辅助设施等都布置在下技术夹层(底层)内,同洁净生产区分层布置。
无尘净化公司-衢州无尘净化-鲁鑫设备(查看)由南京鲁鑫净化设备有限公司提供。“厂房装修”就选南京鲁鑫净化设备有限公司(www.njlxjh.com),公司位于:南京市栖霞区八卦洲街道东江路A栋办公楼5-116,多年来,鲁鑫设备坚持为客户提供好的服务,联系人:聂国纪。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。鲁鑫设备期待成为您的长期合作伙伴!